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本发明具有积极的效果(1)本发明的直拉式单晶生长炉中。以防止因气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒之间的间隙而漏气，影响排气效果所述气流导向装置各通气孔与该炉的排气口通过通气管相连通，以提高排气效果。以防止因该中轴孔与石墨中轴之间的间隙而漏气，影响排气效果。所述气流导向装置的电极孔分别与该炉的电极柱密封连接，以防止因该电极孔与电极柱之间的间隙而漏气，影响排气效果。该炉的一对电极柱分别穿过所述电极孔，该炉的排气口与气流导向装置的各通气孔相连通，气流导向装置的上端部设于该炉的保温筒与发热体之间。该气流导向装置为碗形，其包括设于气流导向装置底部的中轴孔，设于所述中轴孔两侧的一对电极孔，以及设于所述中轴孔两侧并与该炉的排气口相对的通气孔。
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炉筒升降采用丝杠提升技术，简便干净。特点编辑HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动。便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计。即可满足转动所需的扭矩，又可实现转速的控制。质量流量计控制氩气流量。自主产权的控制软件采用视窗，操作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具了工艺实时的。可靠性高，抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热功率控制方式可选，保控温精度。质量流量计控制氩气流量。维护方便全自动控制系统采用模块化设计高精度真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。以石墨电阻加热器，将硅半导体材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。它可以生产大规模太阳能电池，集成电路所需要的高品质硅单晶。单晶炉主机系统包括：底座立柱，坩埚驱动装置，主炉室，翻板阀室，副炉室，籽晶提升与旋转机构，液压驱动装置，真空系统，充气系统及水冷系统。炉室结构为顶升式，主炉室和副炉室启时由液压传动装置实现上移。炉室和副炉室之间。TD-800型软轴提拉型单晶炉设有浮动式翻板阀室。是根据用户实际需求研发的新产品。是在流动惰性气体环境中可在现场维持工艺温度的情况下，取出晶体，更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。
